Bruker白光干涉儀的結(jié)構(gòu)組成和應用說明

　　Bruker白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。白光干涉儀*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

　　Bruker白光干涉儀由以下及部分構(gòu)成：

　　光學照明系統(tǒng) ，采用鹵素光源，其中心波長為576納米，光譜范圍從340納米到780納米。光學成像系統(tǒng) 采用無限遠光學成像系統(tǒng)，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng) 由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動器構(gòu)成，采用閉環(huán)反饋控制方法，可精密驅(qū)動顯微物鏡上下移動，移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米。信號處理系統(tǒng) 信號處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分，由計算機和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計算機采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。應用軟件 應用軟件主要由操作控制部分，結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結(jié)果。并可對測量結(jié)果作進一步的修正處理。

　　Bruker白光干涉儀的測量應用說明：

　　以測量單刻線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準確插入對應插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。

　　在計算機上打開光學3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設置好目鏡下行的低點，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設置好要掃描的距離。按開始按鈕，光學3D表面輪廓儀可自動進行掃描測量，測量完成后，軟件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。